MEMS・半導体向けウエハ加工サービス（シリコン貫通電極-TSV受託加工、3次元実装）、MEMS製品等の販売：日本MEMS株式会社
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MEMS製品
高性能、ハイコストパフォーマンス、AFM(原子間力顕微鏡）用チップ
SII、ビーコ社等のAFMチップとしてご使用いただけます。ただ今大幅割引価格にて販売中！！
特注品のAFMチップにも対応いたします。 お問い合わせはこちら
M2N社製シリコン製高性能AFMチップです。針先端の形状は10nm以下に作成されており、またチップ背面にはアルミがコーティングされて使い易い仕様です。
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針の先端の画像
針の端部よりの画像
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開発中のCNTチップ
AFMチップ 仕様および型番
| 製品型番 | STP2 | STP4 | SMT7 | SMT4 |
|---|---|---|---|---|
| Tip Height | 15±2.5um | 15±2.5um | 15±2.5um | 15±2.5um |
| Tip Aspect Ratio | >3:1 (typical 4:1) | >3:1 (typical 4:1) | >3:1 (typical 4:1) | >3:1 (typical 4:1) |
| Length (μm) | 125 ± 10 | 125 ± 10 | 225 ± 10 | 225 ± 10 |
| Width (μm) | 35 ± 5 | 35 ± 5 | 35 ± 5 | 35 ± 5 |
| Thickness (μm) | 2 ± 0.5 | 4 ± 0.5 | 7± 0.5 | 4 ± 0.5 |
| Resonant Freq. (kHz) | 160(110〜220)kHz | 300(250〜350)kHz | 170(150〜190)kHz | 100(75〜125)kHz |
| Spring Constant (N/m) | 5.0(1.5〜12.5)N/m | 40.0(20.0〜75.0)N/m | 40.0(25.0〜60.0)N/m | 3.5(2.0〜5.5)N/m |
| Tip shape | Tetrahedral | Tetrahedral | Tetrahedral | Tetrahedral |
| Tip inclination angle | 19.5 | 19.5 | 19.5 | 19.5 |
| Tip Material | Silicon | Silicon | Silicon | Silicon |
| Chip Material | Silicon | Silicon | Silicon | Silicon |
| Reflex coating | 30 nm(STP4Al) | 30 nm(STP4Al) | 30 nm(SMT4Al) | 30 nm(SMT4Al) |
| Tip Radius | <10 nm | <10 nm | <10 nm | <10 nm |