MEMS・半導体向けウエハ加工サービス(シリコン貫通電極-TSV受託加工、3次元実装)、MEMS製品等の販売:日本MEMS株式会社

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MEMS製品

高性能、ハイコストパフォーマンス、AFM(原子間力顕微鏡)用チップ

SII、ビーコ社等のAFMチップとしてご使用いただけます。ただ今大幅割引価格にて販売中!!

特注品のAFMチップにも対応いたします。 お問い合わせはこちら



M2N社製シリコン製高性能AFMチップです。針先端の形状は10nm以下に作成されており、またチップ背面にはアルミがコーティングされて使い易い仕様です。
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針の先端の画像

日本MEMS株式会社のAFM(原子間力顕微鏡)用チップ

針の端部よりの画像

日本MEMS株式会社のAFM(原子間力顕微鏡)用チップ

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開発中のCNTチップ

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AFMチップ 仕様および型番

製品型番 STP2 STP4 SMT7 SMT4
Tip Height 15±2.5um 15±2.5um 15±2.5um 15±2.5um
Tip Aspect Ratio >3:1 (typical 4:1) >3:1 (typical 4:1) >3:1 (typical 4:1) >3:1 (typical 4:1)
Length (μm) 125 ± 10 125 ± 10 225 ± 10 225 ± 10
Width (μm) 35 ± 5 35 ± 5 35 ± 5 35 ± 5
Thickness (μm) 2 ± 0.5 4 ± 0.5 7± 0.5 4 ± 0.5
Resonant Freq. (kHz) 160(110〜220)kHz 300(250〜350)kHz 170(150〜190)kHz 100(75〜125)kHz
Spring Constant (N/m) 5.0(1.5〜12.5)N/m 40.0(20.0〜75.0)N/m 40.0(25.0〜60.0)N/m 3.5(2.0〜5.5)N/m
Tip shape Tetrahedral Tetrahedral Tetrahedral Tetrahedral
Tip inclination angle 19.5 19.5 19.5 19.5
Tip Material Silicon Silicon Silicon Silicon
Chip Material Silicon Silicon Silicon Silicon
Reflex coating 30 nm(STP4Al) 30 nm(STP4Al) 30 nm(SMT4Al) 30 nm(SMT4Al)
Tip Radius <10 nm <10 nm <10 nm <10 nm